Produktionstechnik für Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-87525-188-1 KITopen-ID: 1000147440 |
| Erschienen in | Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik : Tagungsband ; 17 Fachbeiträge aus Industrie und Hochschule / LEF 2003. Hrsg.: M. Geiger, A. Otto |
| Veranstaltung | 6. Laser der Elektronikproduktion und Feinwerktechnik (LEF 2003), Erlangen, Deutschland, 12.03.2003 – 13.03.2003 |
| Verlag | Meisenbach |