Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000147447 |
Erschienen in | High Aspect Ratio Micro-structure Technology: HARMST 2003, Fifth Biennial Workshop, Monterey, California, USA, 15th-17th June 2003 |
Veranstaltung | 5th High Aspect Ratio Micro-Structure Technology: Biennial Workshop (HARMST 2003), Monterey, CA, USA, 15.06.2003 – 17.06.2003 |
Seiten | 259 |