| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 08.2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000147470 |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Seiten | 402-408 |