Etablierung von Depositons- und Ätzprozessen für NbTi-basierte Dünnfilme für die supraleitende Sensorik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 30.05.2022 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000148278 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Master |
| Prüfungsdaten | 30.05.2022 |