| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsdatum | 17.10.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000148489 |
| Nachgewiesen in | Dimensions arXiv OpenAlex |
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