Inline qualification of focus variation metrology for a series production of micro gears = Inline-Qualifizierung der Fokusvariations-Messtechnik für die Serienproduktion von Mikrozahnrädern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2196-7113, 0171-8096 KITopen-ID: 1000149105 |
| Erschienen in | tm - Technisches Messen |
| Verlag | De Gruyter |
| Band | 89 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 594–611 |
| Vorab online veröffentlicht am | 10.05.2022 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |