| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 05.08.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000149182 |
| HGF-Programm | 38.01.04 (POF IV, LK 01) Modules, Stability, Performance and Specific Applications |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | xiii, 183 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 26.07.2022 |
| Referent/Betreuer | Richards, Bryce Sydney Schäfer, Andrea I. |