| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 19.08.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0034-6748, 1089-7623 KITopen-ID: 1000150600 |
| HGF-Programm | 43.35.03 (POF IV, LK 01) Structural and Functional Behavior of Solid State Systems |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 93 |
| Heft | 8 |
| Seiten | Art.-Nr.: 083705 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |