Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 2021 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000151021 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |