| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 11.10.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000151118 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | x, 113 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 25.02.2022 |
| Referent/Betreuer | Lemmer, Ulrich Plech, Anton |