| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 04.10.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-5804-2 KITopen-ID: 1000151255 |
| HGF-Programm | 38.01.02 (POF IV, LK 01) Materials and Interfaces |
| Erschienen in | Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, Thin Films, and Devices XIX |
| Veranstaltung | SPIE Nanoscience + Engineering (2022), San Diego, CA, USA, 21.08.2022 – 25.08.2022 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | 7 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions |