Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 04.10.2022 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5106-5804-2 KITopen-ID: 1000151255 |
HGF-Programm | 38.01.02 (POF IV, LK 01) Materials and Interfaces |
Erschienen in | Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, Thin Films, and Devices XIX |
Veranstaltung | SPIE Nanoscience + Engineering (2022), San Diego, CA, USA, 21.08.2022 – 25.08.2022 |
Verlag | SPIE |
Seiten | 7 |
Nachgewiesen in | Dimensions |