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A Correlative Analysis Flow for Electrical and Structural Characterization of IGZO Transistors

Magnarin, L. 1; Agati, M.; Belmonte, A.; Subhechha, S.; Rassoul, N.; Drijbooms, C.; Dekkers, H.; Celano, U.
1 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2022
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-66549-815-9
ISSN: 1946-1550
KITopen-ID: 1000152535
Erschienen in Conference Proceedings: 2022 IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA)
Veranstaltung 29th IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (2022), Singapur, Singapur, 18.07.2022 – 21.07.2022
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 1–4
Serie Proceedings of the 2022 IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA)
Vorab online veröffentlicht am 17.10.2022
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