| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 20.09.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-981-18518-0-3 KITopen-ID: 1000153548 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Erschienen in | Proceedings of the World Congress on Micro and Nano Manufacturing, 19-22 September 2022, Leuven, Belgium. Ed.: S. Castagne |
| Veranstaltung | 5th World Congress on Micro and Nano Manufacturing (WCMNM 2022), Löwen, Belgien, 19.09.2022 – 22.09.2022 |
| Verlag | Research Publishing (SCIRP) |
| Seiten | 126–131 |
| Schlagwörter | Proposal ID: 2021-027-030789; 3DP |