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X-Ray Pinhole Camera Spatial Resolution Using High Aspect Ratio LIGA Pinhole Apertures

Vitoratou, N.; Bobb, L.; Last, A. ORCID iD icon 1; Rehm, G.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2022
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-95450-241-7
ISSN: 2673-5350
KITopen-ID: 1000154607
HGF-Programm 43.35.01 (POF IV, LK 01) Platform for Correlative, In Situ & Operando Charakterizat.
Erschienen in IBIC 2022, International Beam Instrumentation Conference : 11-15 September 2022, Krakow, Poland : IBIC2022 - proceedings
Veranstaltung 11th International Beam Instrumentation Conference (IBIC 2022), Krakau, Polen, 11.09.2022 – 15.09.2022
Verlag JACoW Publishing
Seiten 71-75
Schlagwörter In-house research, Technologies: EBL, XRL
Nachgewiesen in Scopus

Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000154607
Veröffentlicht am 17.01.2023
Originalveröffentlichung
DOI: 10.18429/JACoW-IBIC2022-MOP18
Scopus
Zitationen: 2
Seitenaufrufe: 91
seit 18.01.2023
Downloads: 121
seit 23.01.2023
Cover der Publikation
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