X-Ray Pinhole Camera Spatial Resolution Using High Aspect Ratio LIGA Pinhole Apertures

Vitoratou, N.; Bobb, L.; Last, A. ¹; Rehm, G.
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Verlagsausgabe

DOI: 10.5445/IR/1000154607

Veröffentlicht am 17.01.2023

Originalveröffentlichung
DOI: 10.18429/JACoW-IBIC2022-MOP18

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2022
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-3-95450-241-7 ISSN: 2673-5350 KITopen-ID: 1000154607
HGF-Programm	43.35.01 (POF IV, LK 01) Platform for Correlative, In Situ & Operando Charakterizat.
Erschienen in	IBIC 2022, International Beam Instrumentation Conference : 11-15 September 2022, Krakow, Poland : IBIC2022 - proceedings
Veranstaltung	11th International Beam Instrumentation Conference (IBIC 2022), Krakau, Polen, 11.09.2022 – 15.09.2022
Verlag	JACoW Publishing
Seiten	71-75
Schlagwörter	In-house research, Technologies: EBL, XRL
Nachgewiesen in	Scopus