Adhesion and collapse of extreme ultraviolet photoresists and the role of underlayers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 25.07.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2708-8340 KITopen-ID: 1000155127 |
| Erschienen in | Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology |
| Verlag | SPIE |
| Band | 21 |
| Heft | 03 |
| Seiten | Art.-Nr. 034601 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |