Pumping performance of metal foils

Hanke, S.; Giegerich, T.; Day, Chr.; Kathage, Y.; Luo, X.; Vazquez Cortes, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsdatum	14.09.2022
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000155233
HGF-Programm	31.13.01 (POF IV, LK 01) Ex-Vessel Plant Systems & Engineering
Veranstaltung	22nd International Vacuum Congress (IVC 2022), Sapporo, Japan, 09.11.2022 – 16.11.2022