3D micro-structures for rarefied gas flow applications manufactured via two-photon-polymerization
Zhang, Dingdong; López-Quesada, Guillermo 1; Bergdolt, Samuel 1,2; Hengsbach, Stefan 1,2; Bade, Klaus
1,2; Colin, Stéphane; Rojas-Cárdenas, Marcos
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1,2; Colin, Stéphane; Rojas-Cárdenas, Marcos1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 02.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0042-207X KITopen-ID: 1000156222 |
| HGF-Programm | 43.32.03 (POF IV, LK 01) Designed Optical Devices & Systems |
| Erschienen in | Vacuum |
| Verlag | Elsevier |
| Seiten | 111915 |
| Schlagwörter | 3D-DLW, 2022-027-031254, 2020-024-029397 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |