| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 07.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000156260 |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology A |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 39 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 043412 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Dimensions Scopus |