Simulative Optimierung von plasmagestützten Vakuumbeschichtungsprozessen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 28.02.2023 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000156323 |
| HGF-Programm | 43.31.01 (POF IV, LK 01) Multifunctionality Molecular Design & Material Architecture |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | xli, 242 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Prüfungsdatum | 03.02.2023 |
| Referent/Betreuer | Ulrich, Sven Nestler, Britta |