Power Optimization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators
Arivanandhan, Gowtham
1; Li, Zixiong
1; Curtis, Sabrina M.; Hanke, Lisa; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Li, Zixiong
1; Curtis, Sabrina M.; Hanke, Lisa; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2076-0825 KITopen-ID: 1000156379 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Erschienen in | Actuators |
| Verlag | MDPI |
| Band | 12 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 82 |
| Vorab online veröffentlicht am | 15.02.2023 |
| Schlagwörter | Projekt-Nr. 2020-025-029589, Technologies: EBL, DRIE |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |