Power Optimization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators

Arivanandhan, Gowtham; Li, Zixiong; Curtis, Sabrina M.; Hanke, Lisa; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

doi:10.3390/act12020082

Power Optimization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators

Arivanandhan, Gowtham ¹; Li, Zixiong ¹; Curtis, Sabrina M.; Hanke, Lisa; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.5445/IR/1000156379

Veröffentlicht am 01.03.2023

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2023
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 2076-0825 KITopen-ID: 1000156379
HGF-Programm	43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications
Erschienen in	Actuators
Verlag	MDPI
Band	12
Heft	2
Seiten	82
Vorab online veröffentlicht am	15.02.2023
Schlagwörter	Projekt-Nr. 2020-025-029589, Technologies: EBL, DRIE
Nachgewiesen in	Dimensions Web of Science Scopus

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Power Optimization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators