Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2023 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2076-0825 KITopen-ID: 1000156379 |
HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
Erschienen in | Actuators |
Verlag | MDPI |
Band | 12 |
Heft | 2 |
Seiten | 82 |
Vorab online veröffentlicht am | 15.02.2023 |
Schlagwörter | Projekt-Nr. 2020-025-029589, Technologies: EBL, DRIE |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |