Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 11.2022 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0959-1524, 1873-2771 KITopen-ID: 1000156744 |
Erschienen in | Journal of Process Control |
Verlag | Elsevier |
Band | 119 |
Seiten | 34–43 |
Vorab online veröffentlicht am | 05.10.2022 |
Schlagwörter | Nonlinear heat equation, Pointwise measurement injection observer, Input-to-state stability, Wafer processing |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |