| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 18.05.2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000156764 |
| Erschienen in | Proc. SPIE 7362, Smart Sensors, Actuators, and MEMS IV, 73621H (18 May 2009), Ed.: U. Schmid |
| Veranstaltung | SPIE Europe Microtechnologies for the New Millennium (2009), Dresden, Deutschland, 04.05.2009 – 06.05.2009 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | 73621H-73631H |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |