Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 18.05.2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000156764 |
Erschienen in | Proc. SPIE 7362, Smart Sensors, Actuators, and MEMS IV, 73621H (18 May 2009), Ed.: U. Schmid |
Veranstaltung | SPIE Europe Microtechnologies for the New Millennium (2009), Dresden, Deutschland, 04.05.2009 – 06.05.2009 |
Verlag | SPIE |
Seiten | 73621H-73631H |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |