Modeling of biaxial gimbal-less MEMS scanning mirrors
von Wantoch, Thomas ; Gu-Stoppel, Shanshan; Senger, Frank; Mallas, Christian; Hofmann, Ulrich; Meurer, Thomas
; Benecke, Wolfgang
; Benecke, Wolfgang| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 15.03.2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000156782 |
| Erschienen in | MOEMS and Miniaturized Systems XV |
| Veranstaltung | SPIE Photonics West OPTO (SPIE OPTO 2016), San Francisco, CA, USA, 13.02.2016 – 18.02.2016 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | Art.-Nr.: 976008 |
| Serie | SPIE Proceedings ; 9760 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |