| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 13.03.2023 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000156943 |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Master |
| Prüfungsdaten | 13.03.2023 |
| Referent/Betreuer | Kempf, Sebastian |