Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 02.05.2023 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000158212 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | vi, 159 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 24.04.2023 |
Referent/Betreuer | Paetzold, Ulrich W. Hofmann, Jan Philipp |