| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 02.05.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000158212 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | vi, 159 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 24.04.2023 |
| Referent/Betreuer | Paetzold, Ulrich W. Hofmann, Jan Philipp |