| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000159960 |
| Verlag | Research Square |
| Umfang | 14 S. |
| Vorab online veröffentlicht am | 06.02.2023 |
| Schlagwörter | KNMF-Technologien: E-Beam, XRL |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |
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