Pulse length selection in bipolar HiPIMS for high deposition rate of smooth, hard amorphous carbon films

Ganesan, R.; Fernandez-Martinez, I.; Akhavan, B.; Matthews, D. T. A.; Sergachev, D.; Stueber, M.; McKenzie, D. R.; Bilek, M. M. M.

doi:10.1016/j.surfcoat.2022.129199

Pulse length selection in bipolar HiPIMS for high deposition rate of smooth, hard amorphous carbon films

Ganesan, R.; Fernandez-Martinez, I.; Akhavan, B. ; Matthews, D. T. A.; Sergachev, D.; Stueber, M. ¹; McKenzie, D. R.; Bilek, M. M. M.
¹ Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.1016/j.surfcoat.2022.129199

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum	15.02.2023
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0257-8972 KITopen-ID: 1000160344
HGF-Programm	38.04.01 (POF IV, LK 01) Gas turbines
Erschienen in	Surface and Coatings Technology
Verlag	Elsevier
Band	454
Seiten	Art.-Nr.: 129199
Vorab online veröffentlicht am	28.12.2022
Nachgewiesen in	Dimensions Scopus Web of Science

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