Experimental Study and Simulation of Pull-In Behavior in Hybrid Levitation Microactuator for Square-Shaped Proof Masses
Mamleyev, Emil R.
1; Lee, Chun Him 1; Korvink, Jan G. 1; Kohl, Manfred 1; Poletkin, Kirill V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Lee, Chun Him 1; Korvink, Jan G. 1; Kohl, Manfred 1; Poletkin, Kirill V. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2076-0825 KITopen-ID: 1000160841 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Erschienen in | Actuators |
| Verlag | MDPI |
| Band | 12 |
| Heft | 2 |
| Seiten | Art.-Nr.: 48 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | This article belongs to the Special Issue Conventional and Micromachined Electromagnetic Levitation Actuators. |
| Vorab online veröffentlicht am | 20.01.2023 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |