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200–330-GHz Substrate-Integrated Waveguide in BEOL of a SiGe BiCMOS Process

Bhutani, Akanksha ORCID iD icon 1; Kaynak, Mehmet; Bekker, Elizabeth 1; Zwick, Thomas 1
1 Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2023
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2771-9588, 2771-957X
KITopen-ID: 1000161053
Erschienen in IEEE Microwave and Wireless Technology Letters
Band 33
Heft 9
Seiten 1258-1261
Vorab online veröffentlicht am 19.06.2023
Nachgewiesen in Dimensions
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