Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 2023 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000163553 |
Umfang | 14 S. |
Vorab online veröffentlicht am | 01.10.2023 |
Nachgewiesen in | arXiv Dimensions |
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