Toward hybrid integration of exotic materials in an electronic-photonic CMOS platform via substrate removal
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-957171-25-8 KITopen-ID: 1000165252 |
| Erschienen in | 2023 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO) San Jose, 7th-12th May 2023 |
| Veranstaltung | Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO 2023), San José, CA, USA, 07.05.2023 – 12.05.2023 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Nachgewiesen in | Scopus |