Herstellung eines mikroverfahrenstechnischen Apparates mittels chemischer Ätzung, Diffusionsschweißen sowie CVD-Tantalbeschichtung in Mikrokanälen
Gietzelt, Thomas
1; Toth, Volker 1; Messerschmidt, Florian 1; Wunsch, Torsten 1; Rabsch, Georg 1; Kraut, Manfred
1; Zimmermann, Curt
1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Toth, Volker 1; Messerschmidt, Florian 1; Wunsch, Torsten 1; Rabsch, Georg 1; Kraut, Manfred
1; Zimmermann, Curt1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2023 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-87480-385-4 ISSN: 0075-2819 KITopen-ID: 1000166030 |
| HGF-Programm | 38.03.02 (POF IV, LK 01) Power-based Fuels and Chemicals |
| Erschienen in | Jahrbuch Oberflächentechnik 2023. Hrsg.: T. Sörgel |
| Verlag | Eugen G. Leuze Verlag |
| Seiten | 215-230 |
| Serie | Jahrbuch Oberflächentechnik ; 79 |