Stabilizing high aspect ratio x-ray gratings with top layer resist grid
Richter, Michael 1; Beckenbach, Thomas; Rauch, Constantin; Schreiner, Stephan; Zuber, Marcus
2; Hamann, Elias
2; Last, Arndt
3; Börner, Martin 1; Korvink, Jan 3; Meyer, Pascal
3
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Hamann, Elias
2; Last, Arndt
3; Börner, Martin 1; Korvink, Jan 3; Meyer, Pascal
31 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 14.02.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2708-8340 KITopen-ID: 1000168468 |
| HGF-Programm | 43.35.01 (POF IV, LK 01) Platform for Correlative, In Situ & Operando Charakterizat. |
| Weitere HGF-Programme | 56.13.11 (POF IV, LK 01) Building Blocks of Life: Structure and Function |
| Erschienen in | Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology |
| Verlag | SPIE |
| Band | 23 |
| Heft | 01 |
| Seiten | Art.-Nr. 14901 |
| Vorab online veröffentlicht am | 01.01.2024 |
| Schlagwörter | 2020-023-028514 EBL XRL |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |