Room-temperature sputter deposition of gold-colored TiN assisted by niobium bombardment from a bipolar HiPIMS source
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 01.03.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000169023 |
| HGF-Programm | 38.04.01 (POF IV, LK 01) Gas turbines |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology A |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 42 |
| Heft | 2 |
| Seiten | Art.Nr.: 023107 |
| Vorab online veröffentlicht am | 14.02.2024 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |