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Downscaling and Temperature Homogenization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators

Arivanandhan, Gowtham 1; Li, Zixiong 1; Curtis, Sabrina M.; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsmonat/-jahr 06.2023
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-4-88686-435-2
ISSN: 2167-0021
KITopen-ID: 1000171655
Erschienen in 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
Veranstaltung 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), Kyōto, Japan, 25.06.2023 – 29.06.2023
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 187 – 190
Serie International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
Externe Relationen Abstract/Volltext
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Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 3 – Gesundheit und Wohlergehen
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