Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2023 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-4-88686-435-2 ISSN: 2167-0021 KITopen-ID: 1000171655 |
Erschienen in | 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) |
Veranstaltung | 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), Kyōto, Japan, 25.06.2023 – 29.06.2023 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 187 – 190 |
Serie | International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Nachgewiesen in | Scopus |
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