Downscaling and Temperature Homogenization of TiNiHf/Si Shape Memory Microactuators
Arivanandhan, Gowtham
1; Li, Zixiong
1; Curtis, Sabrina M.; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Li, Zixiong
1; Curtis, Sabrina M.; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-4-88686-435-2 ISSN: 2167-0021 KITopen-ID: 1000171655 |
| Erschienen in | 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) |
| Veranstaltung | 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), Kyōto, Japan, 25.06.2023 – 29.06.2023 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 187 – 190 |
| Serie | International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | Scopus |
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