| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 02.06.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 979-83-503-7826-9 KITopen-ID: 1000173312 |
| HGF-Programm | 43.32.03 (POF IV, LK 01) Designed Optical Devices & Systems |
| Erschienen in | 2024 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) |
| Veranstaltung | 26th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2024), Dresden, Deutschland, 02.06.2024 – 05.06.2024 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1–5 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |