Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 02.06.2024 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 979-83-503-7826-9 KITopen-ID: 1000173313 |
HGF-Programm | 43.32.03 (POF IV, LK 01) Designed Optical Devices & Systems |
Weitere HGF-Programme | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
Erschienen in | 2024 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) |
Veranstaltung | 26th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2024), Dresden, Deutschland, 02.06.2024 – 05.06.2024 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1–5 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |