Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 07.08.2024 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 979-8-3503-7826-9 ISSN: 2768-1874 KITopen-ID: 1000173447 |
HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
Erschienen in | 2024 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 2-5 June 2024. Ed.: IEEE |
Veranstaltung | 26th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2024), Dresden, Deutschland, 02.06.2024 – 05.06.2024 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1–6 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |