Front Matter: Volume 12873, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XVII
Kling, Rainer [Hrsg.]; Pfleging, Wilhelm [Hrsg.]
1; Sugioka, Koji [Hrsg.]
1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Sugioka, Koji [Hrsg.]1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 27.03.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-7007-5 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000174117 |
| HGF-Programm | 38.02.02 (POF IV, LK 01) Components and Cells |
| Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing XVIII, 29th January – 1st February 2024 San Francisco, California, United States. Eds.: Rainer Kling, Wilhelm Pfleging, Koji Sugioka |
| Veranstaltung | 18th Laser-based Micro- and Nanoprocessing (2024), San Francisco, CA, USA, 29.01.2024 – 01.02.2024 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | I-VIII S. |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 12873 |
| Nachgewiesen in | Dimensions |