Evaluation of Different Routes for Manufacturing of Micro Process Devices
Gietzelt, Thomas
1; Toth, Volker 1; Wunsch, Torsten 1; Kraut, Manfred
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1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Toth, Volker 1; Wunsch, Torsten 1; Kraut, Manfred
11 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsdatum | 04.05.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000174385 |
| HGF-Programm | 38.03.02 (POF IV, LK 01) Power-based Fuels and Chemicals |
| Veranstaltung | 1st International Conference on Engineering Manufacture (EM 2022), Porto, Portugal, 05.05.2022 – 06.05.2022 |