| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-6654-8567-8 KITopen-ID: 1000174492 |
| Erschienen in | 2022 IEEE 34th ICMTS proceedings |
| Veranstaltung | 34th International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2022), Cleveland, OH, USA, 21.03.2022 – 15.04.2022 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 4 S. |
| Vorab online veröffentlicht am | 26.09.2022 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |