Improving correlative characterization: Structure Development for Micro and Nano sized Material based on Measurement Results
Kabbe, Maximilian
1; Thelen, Richard 1; Brandner, Jürgen J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Thelen, Richard 1; Brandner, Jürgen J. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Abstract:
Bei der korrelativen Charakterisierung von Proben mit verschiedenen Messgeräten können Abweichungen und Ungenauigkeiten auftreten. Diese sind bedingt durch den Wechsel der Probe zwischen den Messgeräten.
Das Poster zeigt die Auswirkungen einer nicht räumlich ausgerichteten Probe im Messgerät und eine Möglichkeit diese Ausrichtung mit Hilfe eines entwickelten Softwaretools zu korrigieren.
Das Poster zeigt die Auswirkungen einer nicht räumlich ausgerichteten Probe im Messgerät und eine Möglichkeit diese Ausrichtung mit Hilfe eines entwickelten Softwaretools zu korrigieren.
Abstract (englisch):
Performing a correlative characterization of a sample using different measurement devices can lead to deviations and uncertainties, primarily due to the switching of samples between devices.
This poster demonstrates the effect of spatial misalignment of a sample within a measurement device and presents a method to correct it using a software tool.
This poster demonstrates the effect of spatial misalignment of a sample within a measurement device and presents a method to correct it using a software tool.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsdatum | 14.11.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000175193 |
| Veranstaltung | 3rd MSE Day - Full meeting of the Helmholtz Program Materials Systems Engineering (MSE 2023), Jülich, Deutschland, 14.11.2023 |
| Schlagwörter | Korrelative Charakterisierung, Correlative Characterization |