| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 24.10.2024 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000175497 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | xviii, 172, XCII S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 25.03.2024 |
| Referent/Betreuer | Guber, Andreas E. Taschner, Christian Kohl, Manfred Cheng, Xu |