Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 24.10.2024 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000175497 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | xviii, 172, XCII S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 25.03.2024 |
Referent/Betreuer | Guber, Andreas E. Taschner, Christian Kohl, Manfred Cheng, Xu |