Recent progress in the laser microprinting of semiconductors and metals
Somers, Paul; Steurer, Matthias; Kraus, Steven; Feist, Florian
1; Breitung, Ben
1; Marques, Gabriel C. 1; Weinert, Bastian
1; Dolle, Christian; Müller, Erich
2; Aghassi-Hagmann, Jasmin
1; Dehnen, Stefanie; Eggeler, Yolita
2; Feldmann, Claus 3; Barner-Kowollik, Christopher; Wegener, Martin 4
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Anorganische Chemie (AOC), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Breitung, Ben
1; Marques, Gabriel C. 1; Weinert, Bastian
1; Dolle, Christian; Müller, Erich
2; Aghassi-Hagmann, Jasmin
1; Dehnen, Stefanie; Eggeler, Yolita
2; Feldmann, Claus 3; Barner-Kowollik, Christopher; Wegener, Martin 41 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Anorganische Chemie (AOC), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Anorganische Chemie (AOC) Institut für Nanotechnologie (INT) Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 13.03.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-7842-2 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000176156 |
| Erschienen in | 29th Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2024). Ed.: L. Gemini |
| Veranstaltung | 29th Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) (2024), San Francisco, CA, USA, 27.01.2024 – 01.02.2024 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | 18 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 12872 |
| Nachgewiesen in | Dimensions |