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Repetitive ultramicrotome trimming and SEM imaging for characterizing printed multilayer structures

Huang, Liyu ORCID iD icon 1; Mach, Tim P. ORCID iD icon 2; Binder, Joachim R. 2; Thelen, Richard 3; Curticean, Ronald; Wacker, Irene; Schröder, Rasmus R.; Gengenbach, Ulrich 1
1 Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Angewandte Materialien – Energiespeichersysteme (IAM-ESS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000176476
Veröffentlicht am 21.11.2024
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Energiespeichersysteme (IAM-ESS)
Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 20.11.2024
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2045-2322
KITopen-ID: 1000176476
HGF-Programm 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications
Erschienen in Scientific Reports
Verlag Nature Research
Band 14
Heft 1
Seiten Art.-Nr.: 28716
Nachgewiesen in Dimensions
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