Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buch |
Publikationsdatum | 03.06.2024 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-12-821193-9 KITopen-ID: 1000177021 |
HGF-Programm | 38.01.02 (POF IV, LK 01) Materials and Interfaces |
Weitere HGF-Programme | 38.02.01 (POF IV, LK 01) Fundamentals and Materials |
Auflage | 2. Aufl. |
Verlag | Elsevier |
Umfang | 618 S. |
Serie | Micro and Nano Technologies Series |