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Hot Embossing : theory of microreplication

Worgull, Matthias 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsdatum 03.06.2024
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-12-821193-9
KITopen-ID: 1000177021
HGF-Programm 38.01.02 (POF IV, LK 01) Materials and Interfaces
Weitere HGF-Programme 38.02.01 (POF IV, LK 01) Fundamentals and Materials
Auflage 2. Aufl.
Verlag Elsevier
Umfang 618 S.
Serie Micro and Nano Technologies Series
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