| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsdatum | 03.06.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-12-821193-9 KITopen-ID: 1000177021 |
| HGF-Programm | 38.01.02 (POF IV, LK 01) Materials and Interfaces |
| Weitere HGF-Programme | 38.02.01 (POF IV, LK 01) Fundamentals and Materials |
| Auflage | 2. Aufl. |
| Verlag | Elsevier |
| Umfang | 618 S. |
| Serie | Micro and Nano Technologies Series |