Retroreflex Ellipsometry for Nonplanar Surfaces
Abstract:
Retroreflex ellipsometry addresses the geometric restrictions of conventional ellipsometry by using a retroreflective sheet, which returns the light beam from the sample on the same beam path. Simulation and experiments of retroreflex ellipsometry in two- and three-phase systems have been demonstrated based on the proposed concepts, which have shown the capabilities of ellipsometric measurements on nonplanar surfaces.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-7315-1402-2 ISSN: 1866-5934 KITopen-ID: 1000177504 |
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Umfang | XX, 174 S. |
| Serie | Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung ; 24 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Informatik (INFORMATIK) |
| Institut | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Prüfungsdaten | 11.01.2024 |
| Prüfungsdatum | 11.01.2024 |
| Schlagwörter | Retroreflex-Ellipsometrie, Müller-Matrix, Ellipsometrie, gekrümmte Oberflächen, Dünnschicht- Messtechnik, Retroreflex ellipsometry, Mueller matrix, Ellipsometry, Curved surfaces, Thin-film metrology |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Relationen in KITopen | |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung | |
| Referent/Betreuer | Beyerer, Jürgen Fischer, Andreas |