Simultaneous measurement of surface geometry and film thickness distribution by retroreflex ellipsometry
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 05.2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2665-9174 KITopen-ID: 1000178781 |
| Erschienen in | Measurement: Sensors |
| Verlag | Elsevier Ltd. |
| Band | 38 |
| Seiten | 101663 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |