| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 03.2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0361-5235, 1543-186X KITopen-ID: 1000179106 |
| Erschienen in | Journal of Electronic Materials |
| Verlag | Springer |
| Band | 54 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 2239–2248 |
| Vorab online veröffentlicht am | 27.12.2024 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |