Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 03.2025 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0361-5235, 1543-186X KITopen-ID: 1000179106 |
Erschienen in | Journal of Electronic Materials |
Verlag | Springer |
Band | 54 |
Heft | 3 |
Seiten | 2239–2248 |
Vorab online veröffentlicht am | 27.12.2024 |
Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Web of Science Dimensions |