| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 25.02.2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000179520 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | xi, 125 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 20.12.2024 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Referent/Betreuer | Lemmer, Ulrich Hölscher, Hendrik |